(0 Голосов)

Одним из примеров гальванопластики является технология литографического гальваноформования (нем.: LIGA-Verfahren), которая может применяться для массового производства пластмассовых деталей микроскопической структуры и микрореакторов.

Эта технология, разработанная в Научно-исследовательском центре немецкого города Карлсруэ, состоит из следующих технологических операций (этапов):

1) рентгенолитография;

2) гальваноформование прессформы;

3) формование пластмассовых изделий.

1) На первом этапе с помощью рентгенолитографии осуществляется рентгеновское облучение слоя рентгеночувствительного полимера (резиста) через специальный рабочий шаблон, в результате чего в слое полимера образуется точный отпечаток абсорбирующего слоя, имеющегося на поверхности шаблона. При этом облучённые участки избирательно подвергаются влажному химическому растворению («проявлению»).

В качестве резиста чаще всего применяется полиметилметакрилат (ПММА, органическое стекло).

Рентгеновское облучение, обладающее по сравнению с традиционным ультрафиолетовым облучением очень высокой энергией и параллельной направленностью лучей, позволяет получать очень высокие (глубокие) структуры с почти вертикальными и очень гладкими боковыми стенками.

2) При изготовлении этих полимерных структур на металлической подложке, участки структуры, вскрытые после процесса «проявления», могут быть гальванически заполнены различными металлами или сплавами, например, никелем, медью, золотом, ферроникелем (вторая технологическая операция, собственно гальваноформование).

После гальванического наращивания металла выполняется удаление остаточных участков полиметилметакрилата, в результате чего остаётся чистая металлическая микроструктура. 3) Если наращивать металл таким образом, чтобы он значительно выступал над поверхностью резиста, то получится связная и прочная металлическая пластина (плита) с имеющимися внутри неё микроструктурами, которая может использоваться в качестве прессформы для формования пластмассовых микрокомпонентов (третья технологическая операция).

Для серийного изготовления микрокомпонентов с помощью изготовленных таким образом прессформ применяются методы горячего тиснения или литья под давлением. Эти методы репликации позволяют одновременно и практически в полностью автоматическом режиме производить очень большое количество микрокомпонентов за один цикл формовки.